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电子超纯水标准

 
     
 

指标

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

 电阻率MΩ.cm(25℃)

18以上(95%时间)不低于17

15(95%时间)不低于13

 硅≤μg/l

2

10

 >1μM微粒数≤个/ml

0.1

5

 细菌个数≤个/ml

0.01

0.1

 铜≤μg/l

0.2

1

 锌≤μg/l

0.2

1

 镍≤μg/l

0.1

1

 钠≤μg/l

0.5

2

 钾≤μg/l

0.5

2

 氯≤μg/l

1

1

 硝酸根≤μg/l

1

1

 磷酸根≤μg/l

1

1

 硫酸根≤μg/l

1

1

 总有机碳≤μg/l

20

100


 
 

 

 

 

 

 

 
 
 
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