电子超纯水标准
指标
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
电阻率MΩ.cm(25℃)
18以上(95%时间)不低于17
15(95%时间)不低于13
硅≤μg/l
2
10
>1μM微粒数≤个/ml
0.1
5
细菌个数≤个/ml
0.01
铜≤μg/l
0.2
1
锌≤μg/l
镍≤μg/l
钠≤μg/l
0.5
钾≤μg/l
氯≤μg/l
硝酸根≤μg/l
磷酸根≤μg/l
硫酸根≤μg/l
总有机碳≤μg/l
20
100
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